殘氧儀的測量精度受多種因素影響。傳感器性能是關(guān)鍵因素，不同類型的傳感器精度不同，且傳感器的老化、污染會(huì)降低測量精度。環(huán)境因素方面，溫度、濕度和壓力的變化會(huì)影響氣體的狀態(tài)和傳感器的工作性能，例如溫度過高或過低會(huì)使電化學(xué)傳感器的化學(xué)反應(yīng)速度改變，導(dǎo)致測量偏差；濕度較大可能會(huì)使傳感器受潮，影響測量準(zhǔn)確性。氣體流量也會(huì)對(duì)測量結(jié)果產(chǎn)生影響，流量不穩(wěn)定或不符合儀器要求，會(huì)導(dǎo)致氣體在傳感器內(nèi)的反應(yīng)不充分或過度，造成測量誤差。此外，儀器的校準(zhǔn)狀態(tài)、采樣管路的長度和材質(zhì)等也會(huì)影響測量精度，采樣管路過長或材質(zhì)吸附性強(qiáng)，可能會(huì)導(dǎo)致氣體成分發(fā)生變化，從而影響測量結(jié)果。